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九个技巧教你选择真空泵
2016-06-24 21:30:30 ? ? 来源:本网 ? ? 人气:749
选择真空泵时,需要注意下列事项:
1、 真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强的要求,如:真空镀膜要1x10-5mmHg的真空度 ,选用的真空泵的真空度至少要5x10-5mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2 、正确的选择真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为:10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为51x10-4~5x10-5mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-8mmHg下工作,但其工作压强应小于1x10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、 正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二级型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、 了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成份,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽,颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸汽气排到室外。
8、真空泵工作时产生的震动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防震动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用
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